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東莞市品雅真空設備有限公司現(xiàn)代分子泵

　　1、從分子泵誕生至今，已有近百年的歷史，隨著各項科學技術的不斷進步，分子泵技術也取得了

許多創(chuàng)新與突破，現(xiàn)代分子泵更是朝著智能、靈活、高效的方向發(fā)展。

　　近些年隨著控制理論與計算機技術的飛速發(fā)展并應用于分子泵上，使分子泵實現(xiàn)了電腦控制，從而

實現(xiàn)了遠距離控制泵的起動、停車及調(diào)速，同時基于信息技術可建立完善的安全及監(jiān)控系統(tǒng)，使分子泵

朝向智能化方向發(fā)展。

　　2、抽速是分子泵的核心參數(shù)，提高轉(zhuǎn)速是加大抽速最為直接的方法之一，隨著動平衡技術的發(fā)展

，分子泵轉(zhuǎn)子可順利地在超高轉(zhuǎn)速下穩(wěn)定運轉(zhuǎn)。隨著材料科學的發(fā)展，分子泵轉(zhuǎn)子材料也發(fā)生了變化，

可用硬鋁合金、碳纖維、鈦合金等高硬度材料制成，這使轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)速得到進一步提高。

　　3、近些年隨著半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，很多情況要求分子泵在高壓環(huán)境下連續(xù)大量排氣且保證獲得潔

凈真空。傳統(tǒng)渦輪分子泵在此環(huán)境下工作性能下降很多，很難保證實現(xiàn)設計效果。為使分子泵適應高壓

工作環(huán)境，在原有渦輪分子泵基礎上加裝牽引式分子泵部分，將渦輪分子泵與牽引式分子泵串聯(lián)在一起

，組成具有渦輪分子泵與牽引式分子泵各自優(yōu)點的復合式分子泵。

　　4、除此之外，近些年還出現(xiàn)了多種新型分子泵，如可有效抽取水分子的低溫型分子泵，可在強磁

場、強腐蝕條件下工作的陶瓷分子泵，以及可實現(xiàn)無接觸支撐、高效率、高壽命的磁懸浮分子泵等。

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