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一.SJ6000激光干涉儀功能

SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、最高測(cè)速下分辨率高、測(cè)量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測(cè)量。在相關(guān)軟件的配合下，還可以對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動(dòng)態(tài)性能檢測(cè)，可以進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)試與分析，滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析等，具有極高的精度和效率，為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。
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二.SJ6000激光干涉儀性能特點(diǎn)

1.測(cè)量精度高、速度快，穩(wěn)定性好

①使用美國(guó)高性能氦氖激光器，結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達(dá)到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)

②以光波長(zhǎng)(633nm)為測(cè)量單位，分辨率可達(dá)nm級(jí)

③使用高速光電信號(hào)采樣和處理技術(shù)，測(cè)量速度可達(dá)到4m/s。

④配合有環(huán)境補(bǔ)償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測(cè)量精度

⑤分離式干涉鏡設(shè)計(jì)，避免了測(cè)量鏡組由于主機(jī)發(fā)熱而引起的鏡組形變

2. 應(yīng)用范圍廣

①可以實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測(cè)

②結(jié)合我們的軟件系統(tǒng)，可以用于速度，加速度，振動(dòng)分析以及穩(wěn)定度等分析

③可實(shí)時(shí)監(jiān)控精密加工機(jī)床等機(jī)器的動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)，進(jìn)行動(dòng)態(tài)特性分析

3.軟件界面友好

①使用當(dāng)前熱門的軟件界面開發(fā)工具，軟件界面人性化，操作簡(jiǎn)單。

②將靜態(tài)測(cè)量和動(dòng)態(tài)測(cè)量?jī)煞N功能合并到一個(gè)軟件中，更方便用戶切換測(cè)量類型。

③向?qū)讲僮?，流程清晰，更符合?guó)內(nèi)用戶的使用習(xí)慣。

4 性價(jià)比高

性能達(dá)到了國(guó)外儀器的水準(zhǔn)，價(jià)格是國(guó)內(nèi)儀器的良心價(jià)。

三.SJ6000激光干涉儀內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)號(hào) 標(biāo)準(zhǔn)名稱
ISO230-2 老版國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)
ISO230-1997 新版國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)
ANSI B5.54 美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)
ASME B89.1.12M 美國(guó)機(jī)械工程師協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)
NMTBA 美國(guó)機(jī)床協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)
BS 3800 英國(guó)機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)
BS 4656 英國(guó)三測(cè)機(jī)標(biāo)準(zhǔn)
JIS B6330 日本國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)
GB 17421-2000 中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)
VDI 3441 德國(guó)機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)

四.SJ6000激光干涉儀技術(shù)參數(shù)

系統(tǒng)性能

? 測(cè)量方式：?jiǎn)晤l

? 穩(wěn)頻精度：0.05ppm

? 動(dòng)態(tài)采集頻率：50 kHz

? 預(yù)熱時(shí)間：5-10分鐘

? 工作溫度范圍：0~38℃

? 環(huán)境溫度范圍：0~38℃，環(huán)境濕度：0~95%

? 存儲(chǔ)溫度范圍：-20℃~70℃

環(huán)境補(bǔ)償示值誤差

? 空氣溫度傳感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

? 材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

? 空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)

? 大氣壓力傳感器：±0.1kPa

線性測(cè)量

? 測(cè)量距離：0-40m

? 測(cè)量精度：0.5ppm (0-38℃)

? 測(cè)量分辨率：1nm

? 測(cè)量最大速度：3m/sec

角度測(cè)量

? 軸向量程：0-15m

? 測(cè)量范圍：±10°

? 測(cè)量精度：±（0.1+0.2%R+0.02M）″（R為顯示值，單位：″；M為測(cè)量距離，單位：m）

? 測(cè)量分辨率：0.1″

平面度測(cè)量

? 軸向量程：0-15 m

? 測(cè)量范圍：±1.5 mm

? 測(cè)量精度：±（0.6%R+0.02 M²）μm（R為顯示值，單位：μm；M為測(cè)量距離，單位：m）

? 基板尺寸：50mm、100mm、150mm

測(cè)量分辨率：0.1μm

直線度測(cè)量

? 軸向量程：0.1-4.0 m

? 測(cè)量范圍：±3.5 mm

? 測(cè)量精度：±（0.5+0.1%R +0.15M²）μm（R為顯示值，單位：μm；M為測(cè)量距離，單位：m）

? 測(cè)量分辨率：0.01μm

垂直度測(cè)量

? 軸向量程：0.1-3.0 m

測(cè)量范圍：±3.5mm

? 測(cè)量精度：±（0.5+0.5%R+0.2M）″（R為顯示值，單位：″；M為測(cè)量距離，單位：m）

? 測(cè)量分辨率：0.01μm/m

回轉(zhuǎn)軸分度精度測(cè)量

? 角度測(cè)量范圍：0-360°

? 精密轉(zhuǎn)臺(tái)角度增量：5°

? 精密轉(zhuǎn)臺(tái)分度精度：±1″

? 精密轉(zhuǎn)臺(tái)重復(fù)性：0.2″

五.SJ6000激光干涉儀應(yīng)用范圍

1.激光干涉儀是檢定數(shù)控機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)位置精度的理想工具。檢定時(shí)可按照規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)處理測(cè)量數(shù)據(jù)并打印出誤差曲線，為機(jī)床的修正提供可靠依據(jù)。

2.激光干涉儀配有各種附件，可測(cè)量小角度、平面度、直線度、平行度、垂直度等形位誤差，在現(xiàn)場(chǎng)使用尤為方便。

3.激光干涉儀可方便地安裝在測(cè)長(zhǎng)機(jī)上，取代原測(cè)長(zhǎng)機(jī)的坐標(biāo)系統(tǒng)，作為一般計(jì)量室中的長(zhǎng)度基準(zhǔn)。

4.激光干涉儀又是一種高精度的位移傳感器，可直接安裝于坐標(biāo)鏜、螺絲磨等精密機(jī)床及坐標(biāo)測(cè)量機(jī)上作為坐標(biāo)系統(tǒng)，使定位精度大為提高。

5.激光干涉儀具有對(duì)光柵、磁柵、線紋尺、感應(yīng)同步器等精密測(cè)量元件的檢測(cè)和刻劃功能，儀器可按預(yù)定的間距自動(dòng)完成檢測(cè)和刻劃工作。

6.激光干涉儀與圓分度器結(jié)合使用是一套高精度長(zhǎng)度—角度比相計(jì)，可作為機(jī)床傳動(dòng)鏈，絲桿螺旋線等誤差的測(cè)量系統(tǒng)。

品牌：	中圖儀器
所在地：	廣東深圳市
起訂：	≥1 臺(tái)
供貨總量：	100 臺(tái)
有效期至：	長(zhǎng)期有效
穩(wěn)頻精度：	0.05ppm
線性精度：	0.5ppm
線性范圍：	40m

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深圳市中圖儀器科技有限公司

SJ6000激光干涉儀

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